空氣流量計
MCF是專門用於測量空氣和氮氣的氣體質量流量計。使用azbil獨立研發的熱質式微流量傳感器晶片。MCF的測量量程比為50:1,其測量精度為±3%FS。具有正向和反向積算流量的功能。在流量為標準量程2倍時,可進行測量,測量精度在±10% rdg範圍內。
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